有了第一个电机制造成功的经验，吕辰等人又相继制造了十三个电机。
按照GCA-201CGS光刻机的工作配置需求，工件台的X轴、Y轴，掩模台、Z轴、微动台等都可能需要。
顶着工业陶瓷和冶金材料研究中心研究员幽怨的眼神，他们掏空了所有的钐、钴样品材料。
受限于钐钴合金材料的稀少，无法大规模生产，但是他们还尽可能制造了两到三套。
钱兰整理了全套设计图纸，包括材料参数、工艺要求，特别是电机绕组的工艺和机构。
组装好的电机本体直径42mm、长100mm，看上去像一个银灰色的圆柱体，握在手里四根手指刚好能包住。
送别森格顿珠那天早上，北京站的报春花开了一枝。
吕辰递给他一个帆布包，包里装着一个电机、两条前门烟和一包点心，还有一份用牛皮纸袋封好的图纸。
“森格顿珠师傅，这是其中一个电机，还有它的全套设计图纸，复制了一份，您带着。”吕辰说，“材料参数、工艺要求、绕组方法，都写在里面了。”
森格顿珠接过纸袋，没打开，就那么攥着。
“小吕，这……”
“刘教授出差在外，不能专门感谢您，他专门交待，感谢成飞132厂和您对星河计划的支持，您老远来一趟，不能空着手回去。”吕辰笑了笑，“这技术搁我们这儿，也就是用在光刻机上。搁你们成飞，说不定能用在更重要的地方。”
吕辰又从包里拿出一个牛皮纸信封：“这是丘书记为您申请的出差补贴，不多，一点心意。”
森格顿珠默了几秒，他把信封小心地塞进帆布包最底层，然后抬起头。
“小吕，诸葛，钱姑娘。”他声音还是那么低沉，“我在北京这一个多月，学到的东西，比在厂里五年都多。”
他顿了顿：“不是技术。是你们这股劲儿。碰到难事，不躲，不绕，就硬碰硬地干。干成了，也不藏着，还想着给别人用。”
他伸出手，和吕辰握了握，又和诸葛彪、钱兰分别握了握。
“以后到成都，到我家来。我让我媳妇给你们做酥油茶，喝青稞酒。”
汽笛响了，森格顿珠双手合十：“扎西德勒!”
“扎西德勒!”
他拎起帆布包，转身走到车门口，回头看了一眼，冲他们挥了挥手。
然后消失在车厢里。
火车缓缓开动，车轮碾过铁轨，发出有节奏的轰隆声。
吕辰三个人站在月台上，看着那列绿皮火车越走越远，最后变成一个点，消失在晨雾里。
“走吧。”诸葛彪点上一根烟，“回去干活。”
第二批高频脉冲电机的芯片，是在森格顿珠走后的第四天送到的。
那天下午，柳工亲自把芯片送到验证室。
专用芯片箱子里垫着海绵，六十颗芯片整整齐齐码在凹槽里，陶瓷封装，两排引脚，在灯光下闪着金属的光泽。
“GPMC-01，第二批。”柳工把木盒往桌上一放，“60颗，你们慢慢测。”
吕辰拿起一颗，对着灯光看了看。
封装的表面是用丝网印着的字迹，白色的小字，清晰工整。
“谢了，柳工。”
柳工摆摆手，走了。
接下来三天，三个人又过上了暗无天日的日子。
测试台架重新搭起来，电源、示波器、信号源、负载板，一一接好。
第一颗芯片插上去，通电，测静态电流——正常。
输入测试向量，测功能——通过。
测速度，跑最高频率——达标。
测功耗，长时间运行——稳定。
“一颗好的。”诸葛彪在记录本上画了个勾。
第二颗，同样流程——好的。
第三颗——好的。
第四颗——好的。
测到第十颗的时候，钱兰停下笔，看着记录本上那一排勾，有点不敢相信。
“十颗了，全好？”
诸葛彪也愣了愣，把嘴里的烟拿下来，盯着测试台。
“再测。”
第十一颗——好的。
第十二颗——好的。
一直测到第十七颗，终于碰到一颗坏的。
输入短路，电流直接打到底。
“总算有坏的了。”诸葛彪松了口气，反而笑了，“不然我还以为见鬼了。”
六十颗芯片全部测完，钱兰把记录本摊在桌上，一页一页翻过去，最后在最后一页写下统计结果：
总片数：60片
功能完好：37片
局部故障：14片（多为个别引脚失效或速度略低）
完全失效：9片（短路、击穿、开路）
良率：61.7%
她把本子转过来，让吕辰和诸葛彪看。
“37颗能用。”她说，“比上一轮8颗，翻了四倍多。”
诸葛彪点上一根烟：“不枉我等当了一回反面教材，要是再不成，我都不知道怎么抬起头来了。”
钱兰也有点感慨：“这几乎是设计和工艺的推倒重来，有这样的提升在情理之中。”
小主，这个章节后面还有哦，请点击下一页继续阅读，后面更精彩！吕辰拿起一颗好的芯片，在手里转了转：“万事俱备，就等光栅尺和脉冲发生器了。”
光栅尺是在三月底送到的，长光所的吴高工亲自送来，拎着一个木头箱子，像拎着宝贝似的。
他把箱子放在桌上，打开搭扣，掀开盖子。
里面垫着厚厚的绒布，两把玻璃尺躺在绒布凹槽里，尺身细长，透明，像两条冰做的尺子。
“吕工，这是你们要的光栅尺。”
吴高工介绍：“主尺250毫米，副尺150毫米。刻线密度每毫米100线，配合四细分，分辨率能到1.5微米。”
吕辰凑近了看，玻璃尺的表面，密密麻麻刻满了线条，细得像头发丝，用肉眼几乎看不清，只能在光线下隐隐约约看见一道道反光。
“这怎么刻出来的？”诸葛彪眼睛都快贴上去了。
“电子束刻。”吴高工骄傲的说道，“这可是我们所的独门技术，王先生说了，这一根尺子，外国人也就这水平，可惜读数头精度差了点，不然能到亚微米级。”
这的确值得骄傲。
吕辰道：“长光所果然名不虚传，您不如等几天，我们测试好了，把电机给您一起带回长光所。”
吴高工摆摆手：“你们慢慢测，如果不是要找陈副所长拿GCA-201CGS的使用反馈，我是根本没时间跑这一趟的，第二代光刻机已经进入具体的方案论证环节，我的时间非常紧，陈副所长会亲自到长光所参与光刻机的研制，你们测试好后，到时候请他带来就可以了。”
长光所的人还是习惯称呼陈光远为副所长。
脉冲发生器是秦世襄教授的学生送来的，比光栅尺晚了两天。
是一个小盒子，里面是一块pc电路板，用旧报纸包着，外面缠着麻绳。
打开盒子，电路板露出来，巴掌大小，上面焊着石英晶体、三极管、电阻电容，手工布线，整整齐齐。
板子一角贴着一张白胶布，上面用钢笔写着三个字：脉冲源。下面还有一行小字：32.768kHz，±5ppm。
“±5ppm。”诸葛彪念叨了一句，“一百万次只差五次，这精度……”
他把板子翻过来看背面，焊点圆润饱满，走线规整得像印刷上去的。
“西军电的人，手真稳。”
验证室被腾空了一半。
实验台靠墙摆开，从左到右依次是：脉冲发生器、示波器、GPMC-01验证板、电机驱动板、电机本体。
电机旁边架着一个简易工装，是请任长空搭建的。
一块铸铁平板，上面立着一根丝杠，丝杠上套着滑块，滑块上固定着读数头。
丝杠顶端装着一个手轮，摇动手轮，丝杠转，滑块上下移动。
光栅尺的尺身固定在工装上，读数头固定在滑块上。
滑块一动，读数头划过尺身，两路正交脉冲就出来了。
“先把手转跑通。”吕辰说。
诸葛彪坐到工装前，右手握住手轮，左手扶着滑块，像准备做什么精细手术似的。
“慢点转。”钱兰在旁边盯着示波器。
诸葛彪轻轻转动手轮，丝杠转一圈，滑块走4毫米。
读数头划过光栅尺，示波器上开始跳波形。
两路方波，一前一后，像两个错开半步的士兵。
“相位差90度。”钱兰盯着波形，“方向能判了。”
诸葛彪又反转手轮，两路波形的顺序立刻颠倒过来。
“好。”吕辰说，“尺子没问题。”
接下来是脉冲发生器。
接通电源，石英晶体开始震荡。
示波器上出现一条稳定的方波，32.768千赫，占空比50%，方方正正，边缘陡得像刀切的一样。
诸葛彪盯着那条波形，愣了几秒，然后嘟囔了一句：“西军电的东西，真稳。”
验证板是重新搭建的，GPMC-01芯片插在电路板上，周围密密麻麻焊着电阻电容、胶合逻辑，飞线整齐了许多，红的、黄的、蓝的，走得规规矩矩，该拐弯拐弯，该固定固定，贴着标签，一点都不乱。
吕辰拿起一份手写的程序清单，几十行指令，对应着芯片内部的微代码。
那是他熬了两个通宵编的，把“心跳程序”翻译成芯片能懂的0101。
他深吸一口气，蹲下去，把程序清单放在地上，然后开始拨动验证板上的开关。
一排八个开关，对应八位数据。
他看一眼清单，拨第一组：01。
按一下“写入”按钮。
再看清单，拨第二组：02。
再按“写入”。
00 01 02 03 04 05……
每拨一组，按一次写入。
四十分钟后，一百二十八条指令全部写进芯片。
吕辰站起来，腿都有点麻。
他扶着桌子，活动了一下膝盖：“通电。”
诸葛彪合上闸刀。
示波器屏幕亮起来，数字表开始跳。
验证板上，几盏指示灯开始闪烁。
这章没有结束，请点击下一页继续阅读！慢闪三次，快闪五次，然后灭掉。
过了一秒，又重复一遍。
“心跳程序跑通了。”钱兰松了口气，“芯片活着。”
吕辰点点头，这才刚刚开始：“把脉冲接进去。”
诸葛彪拿起一根信号线，一头插在脉冲发生器的输出口，一头插在验证板的一个输入引脚上。
示波器上，那条32.768千赫的方波，被芯片“看见”了。
“光栅尺。”
诸葛彪又拿起两根线，把光栅尺的两路正交信号，接到另外两个输入引脚上。
然后他坐回工装前，握住手轮。
“开环先跑一下。”
转动手轮，滑块上下滑动，读数头划过光栅尺，脉冲信号源源不断地送进芯片。
示波器上，除了时钟方波，又多出两路位置脉冲。
钱兰盯着数字表，那上面显示着芯片算出来的当前位置。
“4.237毫米……移动方向……正向……速度……”
她念着数字，声音越来越小，像怕惊扰了什么。
诸葛彪继续转手轮，滑块走到顶端，又走回来。
数字表上的数字跟着变，从大到小，从小到大，每一步都跟得上，每一步都对得上。
“芯片把位置算对了。”钱兰说。
吕辰盯着示波器看了几秒，然后说：“换闭环。”
诸葛彪拨动一个开关。
芯片的输出信号开始驱动电机。电机嗡嗡响起来，丝杠开始自动转动，滑块向上爬升。
吕辰在验证板上拨了一个数字：10.000。
那是目标位置，单位毫米。
芯片程序里预设了这个目标。
电机继续转，读数头一路跟着，脉冲信号不断反馈回芯片。
数字表上的数字一路跳。
9.847……9.921……9.973……9.991……9.997……
越来越接近10.000。
最后停在9.999毫米。
误差1微米。
三个人盯着那个数字，谁都没说话。
示波器上，波形还在跳，方波整整齐齐，一列一列，像士兵的脚步。
电机嗡嗡地响着，声音低沉稳定，像一头刚刚被驯服的野兽。
诸葛彪咽了口唾沫，烟叼在嘴角，半天没点。
“再试一次。”他说，声音有点哑。
吕辰把目标改成25.000毫米。
电机又转起来，丝杠嗡嗡嗡，读数头一路向上，停在25.001毫米。
误差还是1微米。
钱兰轻轻吸了一口气：“精度够了，GCA-201CGS光刻机工作台的要求，就是正负五微米，这远远达到了要求。”
吕辰又拨了一个数字，目标0.1毫米。
电机轻轻一抖，丝杠几乎看不出动，读数头微微挪了一点点。
数字表从25.001往下跳：25.001……24.998……24.995……
最后停在25.000毫米。
移动量0.001毫米，1微米。
诸葛彪把烟叼上，没点，就那么叼着，愣愣地看着那个数字。
“成了。”他说，烟在嘴角抖了抖，“真成了。”
钱兰长长地吐了口气，肩膀塌下去，整个人像被抽走了骨头。
吕辰站着，盯着那个数字，看了很久：“再试一次。”
诸葛彪又试了一次，目标改成50毫米。
电机转，滑块走，停在——49.998毫米。
误差两微米。
“再试。”
目标0.05毫米。
电机轻轻一抖，滑块几乎看不出动，数字表慢慢跳，最后停在50.000毫米。
误差零。
三个人盯着那个数字，谁都没说话。
过了很久，诸葛彪把烟点上了。
他狠狠吸了一口，然后吐出来，烟在空气中慢慢散开。
他指了指那个还在转的电机：“森格顿珠师傅走早了，他应该亲自见证。”
钱兰笑得眼睛有点红：“我写信告诉他。”
接下来几天，他们又搭建了一个更复杂的模拟系统。
一张两尺见方的铸铁平板，上面架着X轴和Y轴两个滑台。
每个滑台都由一个电机驱动，丝杠传动，光栅尺反馈。
X轴行程200毫米，Y轴行程150毫米。
他们把长光所送来的两把光栅尺都装上了，X轴一把，Y轴一把。
重新焊出来两个驱动板，每块板子上一个GPMC-01芯片，专门控制一个轴。
控制程序写在二维卡上。
80*80的点位里，存着工件台的初始位置参数，然后是一串指令：
X轴正向，移动20毫米，停3秒。
X轴正向，再移动20毫米，停3秒。
重复7次。
然后Y轴正向，移动20毫米，停3秒。
再重复X轴的那一串，如此循环。
他把卡片塞进读卡机，读卡机的输出线接到验证板上。
吕辰合上读卡机的盖子。
“准备。”吕辰说。
小主，这个章节后面还有哦，请点击下一页继续阅读，后面更精彩！诸葛彪盯着两个滑台，钱兰盯着示波器。
“通电。”
读卡机的信号灯依次闪烁，矩阵探针读入数据。
验证板上的芯片收到指令，开始计算，然后发出信号。
X轴电机动了。
滑台悄无声息开始向前移动，读数头划过光栅尺，脉冲信号源源不断返回芯片。
芯片比较目标位置和实际位置，调整输出，电机继续转。
20毫米到了，停。
三秒后，又动了。
20毫米，停。
三秒后，又动。
X轴滑台一步一步往前走，每一步20毫米，每一步停三秒，每一步都走得稳稳当当，误差不超过2微米。
走完七步，X轴滑台停在140毫米的位置。
然后Y轴动了。
同样20毫米一步，同样停三秒，同样稳。
Y轴走完七步，X轴又开始往回走。
一步一步，一格一格，像士兵走正步，像钟表走秒，像某种精密到极点的舞蹈。
“成了。”诸葛彪又点上一根烟，靠在椅子上，看着那两个还在动的滑台，“这回是真成了。”
钱兰拿起一块报废的GPMC-01芯片，对着灯光看了很久。
“咱们为GCA-201CGS，造出了半自动的工件台。”
那天下午，三个人坐在验证室里，看着那两个滑台一遍一遍地走。
走完一遍程序，重新塞一次卡片，再走一遍。
走了一百遍，误差始终没超过2微米。
吕辰出去了一趟，回来的时候拎着一瓶酒，三个搪瓷缸子。
他把酒倒上，三个缸子碰在一起，发出清脆的响声。
“敬森格顿珠师傅。”
“敬长光所。”
“敬西军电。”
“敬咱们自己。”
酒喝完的时候，窗外已经是红霞漫天。
诸葛彪把烟掐灭，站起来，走到窗前，推开窗户。
冷风灌进来，人间四月天，带着泥土和青草的芬芳。
吕辰和钱兰走过来，三人站在窗前，看着天边绚烂的晚霞。
身后，那个滑台还在走。
X轴，20毫米，停三秒。
Y轴，20毫米，停三秒。
一步一步，一格一格。
像某个巨大机器的脉搏，沉稳，精确，永不停歇。
早霞不出门，晚霞行千里。
喜欢四合院：我是雨水表哥请大家收藏：()四合院：我是雨水表哥更新速度全网最快。