会场安静了下来。
马宇腾继续说。
“光刻机只是问题的一个缩影。蚀刻机、薄膜沉积设备、离子注入机,这四大核心前道设备,我们全部依赖进口。”
他扫了一圈全场。
“全部。”
这两个字他咬得很重。
“去年,国内半导体产业进口设备花了多少钱?超过四十亿美元。这笔钱,养肥了国外的设备厂商,却没有一分钱变成我们自己的技术积累。买回来的设备,维修要找人家,升级要求人家,连换个零部件都得看人家脸色。”
“更要命的是,这些设备的供应,不是纯粹的商业行为。”
他的语速慢了下来。
“在座各位应该听说过《瓦森纳协定》。这个协定规定了哪些技术和设备可以出口,哪些不可以。名义上是多边机制,实际上的决定权握在花旗国手里。”
“今天他们愿意卖给我们,是因为我们的芯片制造水平还不构成威胁。但半导体产业发展到一定程度,触碰到他们的利益红线,供应链随时可能被掐断。”
“到那个时候,不是花多少钱的问题。”
马宇腾停了一拍。
“是花再多钱,也买不到。”
他说完这句话,拿起桌上的水杯喝了一口。
这个间隙里,会场没有人说话。
几个年纪偏大的委员交换了一下眼神,有两位在翻手里的材料,翻的动作比之前慢了不少。
坐在他斜对面的李石鹤,微微颔首。
马宇腾放下水杯,抹了一下嘴角。
“所以我这次的议案,核心就一句话——请国家把半导体设备的自主研发,提升到战略安全的高度来对待。”
“具体建议四条。”
他逐一展开。
第一条,设立专项研发基金,初期规模不低于五十亿。集中砸向光刻机、蚀刻机、薄膜沉积三个目前最重要的环节。
第二条,推动科研机构与企业联合攻关。
他提到了KBBF晶体在光刻机光源领域的应用前景,但没有展开技术细节,只是提到“国内在深紫外晶体领域拥有国际领先的原创性成果,完全具备走出一条独立技术路线的基础条件。”
第三条,制定国产化替代时间表,在设备采购环节向国产方案倾斜。
讲到第四条时,马宇腾的语速放慢了。
“第四条,关于人才。”
“今年年初,我在魔都拜访了一家叫东微半导体的企业。创始人尹仕尧,在花旗国硅谷工作了二十多年,是蚀刻机领域的顶级专家。零四年,他带着三十多人的团队回国创业。”
“三十多个人。”马宇腾重复了一遍数字。
“放弃了花旗国的高薪、期权、绿卡,带着老婆孩子回来,在实验室里,跟国际巨头的专利壁垒死磕,为了完成东大自主蚀刻机的突破。”
他没有用任何修饰词去描述这件事。
“经费紧张、市场不认可、竞争对手的技术封锁,每一样都压在他们身上。我去的时候,尹仕尧跟我说了一句话,''我们不怕技术难,怕的是回来之后发现没人在乎。''”
会场里有人动了一下。
“我们需要更多这样的人。但如果先回来的人得不到足够的支持和尊重,后面的人就不会再回来了。这个道理,并不复杂。”
发言结束。
马宇腾坐了下来。
会场安静了三四秒,主持人开口。
“马委员的议案信息量很大,涉及的问题也比较具体。各位有什么想法,可以讨论。”
对面那个头发稀疏、之前一直皱眉的委员举了手。
“我想请教马委员一个问题。你提到设立五十亿的专项基金,这个数字的依据是什么?不是随口说的吧?”
最后一句带着点试探的意味。
马宇腾没含糊。
“参照韩国政府对三星电子的支持力度。过去十年,韩国政府通过直接拨款、税收减免和政策性贷款,累计向三星的半导体业务注入了超过二十亿美元。折合人民币,大约一百六十亿。”
他看着提问者。
“五十亿,只是一个起步数字。按照半导体设备研发的烧钱速度,这笔钱撑不了太久。但起码能让几个关键项目先动起来。”
提问者“嗯”了一声,没有追问,在本子上记了几笔。
紧接着,旁边一位穿灰色夹克的委员开口了。
“马委员,有个问题我觉得还是要问。你本人就是半导体行业的从业者,雷霆工业也是芯片制造企业。你提的这些建议,有没有为自己企业争取利益的考虑?”
这个问题一出来,好几个人的目光同时投了过来。
马宇腾早就预料到会有人提到这块。
他看着对方,淡定的回答道。
“我们雷霆工业在鹏城的芯片工厂,去年刚投产90纳米制程,产线上用的全是进口设备。阿斯麦的光刻机、应用材料的蚀刻机、东京电子的涂胶显影机,一台都没少花钱。”
“如果国产设备短期内能替代进口,我当然乐意。但实际情况是什么?实际情况是,这条路至少需要数年的时间。等国产设备真正成熟的时候,我的工厂早就推进到45纳米甚至更先进的制程了。到时候国产设备追上来的还是这一代的水平,我暂时还用不上。”
他摊了一下手。
“所以从纯商业利益的角度讲,这份议案对我个人,短期内没有任何好处。反而会招来一堆质疑——比如您刚才这个问题。”
旁边有人笑了一声。
灰色夹克的委员脸上的表情松动了一些。
马宇腾收起了笑容,脸色一正继续说道。
“但有些事情,不能只算商业账。”
这句话说完,他没有再补充。该懂的人自然懂。
提问的委员低头在笔记本上写了什么,没再追问。
讨论继续进行。
中间有位材料领域的委员对KBBF晶体的技术可行性提出了疑问。
“这个东西真能用到光刻机上?我了解到的情况是,KBBF晶体的生长良率一直上不去,拿来做实验室研究够用,要搞产业化,恐怕还差得远。”