接下来是产业现状分析。
马宇腾用三个段落,勾勒出了2006年东大半导体设备产业的全貌。
光刻机领域:魔都微电子是唯一一家具备整机研制能力的企业,但其研发的分布式投影光刻机尚处于原型机阶段,制程水平停留在280纳米,与国际主流的90纳米量产水平相差三代以上。
核心零部件如光源系统、高精度物镜组、双工件台等,几乎全部依赖进口。
蚀刻机领域:东微半导体刚刚起步,第一代介质蚀刻机尚未完成全部验证测试。与国际巨头应用材料、泛林半导体的技术仍有不小的差距。
薄膜沉积和离子注入领域:国内没有任何一家企业具备成熟的研发能力。
三段话写完,马宇腾停了下来。
他盯着屏幕,手指悬在键盘上方。
议案的第三部分是建议措施。
这一部分他反复斟酌了很久。
太保守,等于白写。
太激进,会被认为不切实际。
最终他落笔,列出了四条具体建议。
第一,建议国家设立半导体设备专项研发基金,初期规模不低于五十亿元。这笔钱不撒胡椒面,集中投向光刻机、蚀刻机、薄膜沉积三个卡脖子环节。
第二,建议鼓励和支持国内科研机构与设备企业开展联合攻关。他特别提到了KBBF晶体在光刻机光源领域的应用潜力,建议科学院与魔都微电子建立协作机制,探索具有自主知识产权的全固态深紫外光源技术路线。
第三,建议制定半导体设备国产化替代时间表,要求国内芯片制造企业在采购设备时,优先考虑国产替代方案。
第四,建议放宽半导体设备领域的人才引进政策,对海外归国的高端技术人才,在户口、住房、科研经费等方面给予特殊支持。
写到第四条时,尹仕尧的面孔浮现在他脑海里。那个放弃了硅谷优渥待遇、带着三十多人回国创业的男人,现在还在张江的洁净室里,跟专利壁垒死磕。
这些人不该被亏待。
马宇腾把第七稿通读了一遍,又逐字逐句地修改了两个小时,然后发给陈闯天。
凌晨一点,手机震了。
陈闯天的短信回复发了过来:我觉得写得很好,应该会引起有关领导重视。
马宇腾放下手机,摘掉眼镜,用拇指和食指捏了捏鼻梁。
窗外,京城的夜色沉沉,长安街上的路灯排成一条笔直的光带,延伸向看不见的远方。
三月一号,他把议案打印了三份,装进档案袋。
三月二号,他参加了协商委员的预备会议。
会上,工作人员逐一确认了每位委员提交的议案和提案。
马宇腾的议案被编了号,归入科技教育类。
他注意到,同一类别下,还有几份关于信息技术和软件产业的提案。
但没有一份涉及半导体设备。
这让他心里多了一分笃定。
在别人还在讨论软件外包和互联网泡沫的时候,他已经瞄准了整个信息产业的命门。
预备会结束后,一个头发花白的老委员主动走过来,跟他搭话。
“小马是吧?雷霆工业的?你那份议案我扫了一眼,写得不错。”
马宇腾认出了对方。
这位是通信领域的老前辈李石鹤,被称为“东大3G之父”,提出并主持了TD-SCDMA技术的研发,在行业里颇有分量。
“李老过奖了。”
李石鹤压低声音。
“半导体设备这个话题,有些敏感。你做好准备,会上可能会有人追问。”
马宇腾推了推眼镜。
“问就问。数据都在那摆着,我怕什么。”
李石鹤看了他一眼,拍了拍他的肩膀,没再多说,转身走了。
……
三月三日,第十届全国协商四次会议在京城开幕。
马宇腾坐在科技界别的席位上。
他是这一片区域里最年轻的面孔,左右两边坐着的委员都比他至少大二十岁。
开幕式的流程冗长而庄重。
马宇腾听着主席台上的工作报告,目光偶尔扫过手中议案的摘要页。
纸张的边角已经被他捏出了细微的褶皱。
分组讨论安排在下午。
科技界别的讨论会设在一间中等大小的会议厅里。
长条形的桌子围成U字型,三十多位委员依次落座。
主持人宣布讨论开始后,前几位发言的委员分别围绕自主创新体系建设、科研经费管理制度改革等话题阐述了观点。
马宇腾一直没有举手。
他在等。
等到第五位委员讲完,主持人扫视全场,目光在他身上停留了一瞬。
“马宇腾委员,你有发言的想法吗?”
“对。”
马宇腾站了起来。他没有拿稿子,那份议案的每一个字都刻在他脑子里。
“各位委员,我今天想谈一个可能大家不太熟悉,但对国家安全至关重要的领域——半导体设备。”
他扫视了一圈会场。
“在座的各位,手机、电脑、汽车电子,这些东西大家每天都在用。它们的核心是芯片。但芯片是怎么造出来的?”
他停顿了一秒。
“是靠一种叫光刻机的设备,用紫外光把电路图案刻在硅片上。一台高端光刻机的精度,相当于从京城向魔都射出一束激光,精确击中一枚硬币上的某个字。”
几个委员的目光从文件上抬了起来。
“目前,全球能生产这种高端设备的企业,只有三家。荷兰的阿斯麦,脚盘国的尼康和佳能。其中阿斯麦占据了近六成的市场份额,而且份额还在快速扩大。”
“东大的份额是零。”
他的声音不大,但“零”这个字在会场里砸出了清晰的回响。
对面一个头发稀疏的委员皱起了眉头。
“小马,你说零?我记得国内不是有企业在搞光刻机吗?”
“有。”马宇腾点头。
“魔都微电子,零二年成立,正在研发分布式投影光刻机。但他们的制程水平停留在280纳米,而国际主流已经推进到90纳米,并且正在向65纳米迈进。”
“这中间差了三代。”
他伸出三根手指。
“一代的追赶周期,乐观估计是三到五年。三代就是十年以上。而在我们追赶的这十年里,国际巨头不会原地等我们,他们会继续往前跑。”