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第710章 精度零点一零微米!

作者:举杯望明月本书字数:K更新时间:
    “你也懂浸没式理论的变种?”


    “这可是英特尔那帮人在实验室里都不敢随便尝试的野路子……”


    “因为太费钱,太费时间!但理论上……可行!”


    张院士的眼睛越来越亮,最后猛地把烟蒂按灭在烟灰缸里,一把抓住许哲的胳膊,力气大得惊人。


    “走!跟我去实验室!”


    穿过两条幽暗的走廊,在一间恒温恒湿的净化车间里,许哲见到了一台庞然大物。


    它像一只沉睡的钢铁巨兽,外壳的漆面有些剥落,露出了底下的金属色泽。


    “这是十年前咱们咬牙从国外引进的,当时可是宝贝疙瘩!”


    “后来那是咱们技术不行,用不好,加上人家技术封锁,怕坏了零件也没处修,就一直半闲置着。”


    张院士拍了拍机身,眼神像是在看一位并肩作战的老战友。


    “你要的深紫外光源,它有!”


    “既然你要玩命,咱们就拿它当枪,试试你那个多重曝光的疯狂想法!”


    ……


    接下来的三个月,时间仿佛在这个地下实验室里失去了意义。


    没有白天黑夜,只有日光灯惨白的嗡鸣声和机器运转的低吼。


    许哲仿佛回到了前世高考前的冲刺,甚至比那时候更疯。


    他的衬衫早就分不出颜色,胡茬像杂草一样爬满了半张脸。


    “参数不对!第一次曝光的对准偏差超过了五纳米,重来!”


    “光刻胶厚度不均匀,刻蚀完图形塌陷了,这一批全部报废!”


    “这根本就是不可能完成的任务!我们是在用大刀雕刻米粒!”


    实验室的垃圾桶里堆满了报废的晶圆片,像是一座座失败的墓碑。


    焦虑、暴躁、绝望的情绪像病毒一样在团队里蔓延。


    一名年轻的研究员把防护面罩狠狠摔在操作台上,眼圈通红,声音嘶哑。


    “许总,张老,放弃吧!我们已经连轴转了八十天了!这就是在烧钱!”


    “那个多重曝光的算法,根本没办法和这台老古董匹配,每一次震动都会导致前功尽弃!”


    张院士没说话,只是佝偻着背,死死盯着显微镜,但微微颤抖的双手出卖了他的体力透支。


    许哲走过去,捡起那个面罩,轻轻放在台面上。


    他的眼睛里全是红血丝,但目光却比这实验室里的激光还要冷、还要硬。


    “烧钱?你知道如果不搞出来,我们以后每年要给高通交多少专利费吗?


    “那才是烧钱,那是烧我们子孙后代的血汗钱!


    他指着那台老旧的光刻机,声音不大,却震得人耳膜生疼。


    “我不懂什么物理极限,我只知道,路是人走出来的,这台机器是死的,人是活的!


    “震动大?那就加减震台!算法不匹配?那我们就人工校准!


    “哪怕是用手调,也要给我调出那个精度来!


    “今天谁想走我不拦着,但我许哲,就算死,也要死在这台机器旁边!


    没人动。


    那个摔面罩的研究员抹了一把脸,默默地重新戴好面罩,咬着牙坐回了控制台前。


    “操,接着干!我就不信这个邪!


    又是一个深夜。


    或者说是凌晨。


    许哲靠在墙角,手里捏着半个冷硬的馒头,眼皮沉重得像灌了铅。


    就在他意识即将模糊的时候,一声变了调的尖叫瞬间刺破了沉闷的空气。


    “出来了!出来了!!


    那名负责检测的研究员像个疯子一样跳了起来,手里举着一张刚刚显影的底片,眼泪鼻涕糊了一脸。


    “多少?!


    张院士几乎是从椅子上弹射出去的,动作快得不像个七十岁的老人。


    “零点一零!精度达到零点一零微米!边缘锐利,图形完整!


    “虽然离零点零九还差那么一点点,但对于现在的架构来说,已经能用了!勉强能用了!!


    张院士一把推开那名欣喜若狂的研究员,整张脸几乎贴到了目镜上。


    镜头下,那原本应该模糊粘连的线条,此刻虽不及刀切般平整,却条缕分明,像是一条条被强行


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    开辟出的战壕。


    “成了……


    老人喉咙里发出风箱般的呼哧声,猛地直起腰,把位置让给许哲。


    许哲凑近一看。


    视野中央,复杂的电路图形在深紫外光的反复雕琢下,呈现出一种粗糙却坚韧的工业美感。


    边缘虽然还有毛刺光刻胶的留存率也在危险边缘但那个最核心的栅极宽度确确实实卡在了零点一零微米的刻度上。


    两人对视一眼。


    张院士眼角的皱纹在那一瞬间仿佛都舒展开了眼底那抹浑浊散去取而代之的是两团跳动的火苗。


    这一步终于是从鬼门关迈过去了。


    “通知下去。”


    许哲直起身声音沙哑得像吞了把沙子嘴角却怎么也压不住上扬的弧度。


    “把数据封存立刻传真给射频攻坚组。”


    “告诉他们枪我给他们造好了接下来能不能造出打穿洋人防线的**看他们的了。”


    这个消息像是一剂强心针瞬间扎进了那个原本死气沉沉的研发团队心脏。


    原本因为光刻精度不够、只能对着设计图干瞪眼的射频工程师们听到“零点一零”这个数字时先是愣了几秒随即爆发出压抑已久的狼嚎。


    没有废话没有人再提离职。


    几张行军床直接搬进了实验室


    与此同时哲理科技研发园区。


    露天测试场上一群平均年龄不到三十五岁的年轻工程师正围着一个只有鞋盒大小的银灰色金属匣子。


    它样子有些丑陋外露的线缆像乱蓬蓬的头发和此时市面上那种几层楼高的宏基站相比简直像个玩具。


    这就是许哲力排众议否定了老教授们的“大塔方案”强行推行的“微基站加云核心网”架构。


    “许总来了!”


    人群自动分开一条道。


    许哲穿着那件起了球的白衬衫大步走来虽然满脸疲惫但眼神依旧锐利如刀。


    “准备好了?”


    项目负责人是个刚从华科大挖来的博士此刻紧张得直搓手满是油汗的脸上带着一股孤注一掷的狠劲。
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