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第709章 深紫外光的多重曝光技术!

作者:举杯望明月本书字数:K更新时间:
    “可是……”


    许哲话锋一转,目光变得深邃,“教授说得也没错,没有核心技术,终究是沙上建塔。”


    他深吸一口气,竖起两根手指。


    “那就——双轨并行!”


    这四个字一出,在座的所有人呼吸都为之一滞。


    “我们分两队,第一队,由年轻骨干组成,全力攻坚分布式基站,我要在半年内看到原型机落地,并在深城进行小规模试点。”


    “我们必须要在年底前,拿着实实在在的数据去日内瓦申请一个专利。”


    “第二队……”


    许哲看向那些头发花白的老专家,语气变得格外郑重,“继续死磕芯片和射频器件,光刻机的问题,交给我。”


    “我待会儿就去联系中科院微电子研究所,哪怕是给他们磕头,我也要把技术支持求来。”


    “这简直是疯了……”


    有人倒吸一口冷气。


    双轨并行,意味着资金消耗将成倍增加,在这本来就捉襟见肘的关头,这无疑是一场把身家性命都押上去的豪赌。


    “没别的路了。”


    华伟的老郑掐灭了手里快烧到指甲的烟蒂,那双熬得通红的眼睛里闪过一丝决绝。


    “横竖都是死,不如博一把,许总,这方案华伟跟了!”


    “我这就给总部打电话,再抽调三十个做交换机的骨干过来,工资华伟自己发,只要能把这东西搞出来,砸锅卖铁我们也认。”


    有了带头的,原本摇摆不定的局面瞬间崩塌。


    “中兴也没问题,我们那边的实验室资源可以共享。”


    “大唐跟进。”


    老教授看着这一幕,重重地叹了口气,像是卸下了千斤重担,又像是背上了新的枷锁。


    他缓缓坐回椅子上,摆了摆手。


    “既然你们这群疯子要跳崖,那就跳吧!”


    “我们这把老骨头,就在下面给你们垫背。”


    ……


    会议结束的时候,天色已经擦黑。


    许哲连口水都没来得及喝,抓起桌上的公文包就冲出了大楼。


    首都的夜风带着一股干热,吹在脸上像有刺似的。


    许哲没时间感叹,在车后座借着灯光一遍遍翻阅着手


    中的技术报告。


    那是他连夜整理出来的“生死状”。


    每一个数据每一行代码都不仅是墨水而是华夏通信行业的血泪。


    里面详细阐述了四代通信射频器件目前遇到的所有技术死结以及他对国产光刻机突破方向的极度渴望。


    ……


    首都中科院微电子研究所。


    当许哲站在那间朴素的办公室门前时已经是次日清晨。


    他整理了一下满是褶皱的衬衫用力搓了搓僵硬的脸颊让自己看起来不那么像个落魄的赌徒。


    门开了。


    一位身穿灰色中山装的老者坐在堆满书籍和图纸的办公桌后。


    张院士。


    这个名字在华夏半导体界如雷贯耳。


    虽然头发已经全白但他坐在那里腰杆挺得笔直。


    张院士正一页页翻动着那份带着深城湿气的“生死状”。


    他看得极慢每翻一页眉头就锁紧一分那身洗得发白的中山装随着呼吸微微起伏。


    “你要做射频器件还要在这个节点上搞弯道超车。”


    老人合上文件摘下玳瑁眼镜那双浑浊却锐利的眼睛直刺过来。


    “后生可畏但你知不知道这上面画的不仅仅是电路图更是钱是命!”


    许哲腰杆挺得笔直像是接受检阅的士兵。


    “我知道这二十亿如果打水漂……我多少会被人谴责。”


    “但如果没有这东西


    “我有说不支持吗?”


    看着许哲倔强的表情张院士突然笑了。


    他脸上的褶子瞬间舒展开带着一股子老学究特有的狡黠与豪气。


    他把文件往桌上一拍。


    “只要是对国家有利的就是把这把老骨头拆了当柴烧我也支持!”


    “微电子所这几年这就是清水衙门难得有个敢带着干粮来还要拼命的愣头青。”<


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    p>许哲紧绷的肩膀猛地一松刚想道谢张院士却抬手制止手指在桌面上重重叩了两下。


    “别高兴得太早支持归支持科学不是请客吃饭。”


    老人起身走到墙边那


    张巨大的设备分布图前指着中间一块红色的区域。


    “你的方案我看懂了设计理念确实超前甚至可以说天才但你忽略了一个最致命的物理极限——光刻精度。”


    “国内现在能动用的最好设备拼了老命也只能做到零点一八微米而你这个器件要把性能拉满至少得达到零点零九微米。”


    零点一八到零点零九。


    看似只是几个数字的差距实则是横亘在华夏半导体工业面前的一道天堑。


    许哲的心猛地往下一沉。


    前世他虽然是搞金融的但也对华夏的其他行业一知半解知道这就是所谓的“摩尔定律”死结。


    没有ASML那种顶级的EUV光刻机想要强行突破物理极限无异于痴人说梦。


    难道真的要死在这里?


    不对。


    许哲脑中灵光一闪前世的一篇技术研报突然浮现在脑海。


    在EUV光刻机普及之前尼康和佳能曾经用过一种“笨办法”来延续摩尔定律。


    “张老。”


    许哲猛地抬头眼里的光亮得吓人“如果是死路我们就换个走法。”


    “既然单次曝光达不到精度能不能放弃传统光刻逻辑改用深紫外光的多重曝光技术?”


    张院士夹烟的手在半空中停住了。


    “多重曝光?”


    “对!既然波长受限那我们就用计算换精度。”


    “把原本一层光刻的图形拆分成两层甚至三层


    “虽然步骤繁琐了三倍良品率会暴跌但理论上这能不能在零点一八的机台上跑出零点零九的效果?”


    死寂。


    整个办公室安静得只能听见墙上挂钟“咔哒、咔哒”的走字声。


    张院士手里的烟燃到了尽头烫到了指尖他才猛然惊醒。


    他像看怪物一样盯着许哲嘴唇微微哆嗦。
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