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第224章 让全球意外的重磅成果【求订阅】

作者:千越南秋本书字数:K更新时间:
    第224章 让全球意外的重磅成果【求订阅】


    」辛苦张教授了,这次你们可是帮了我们大忙。」


    徐铭把张彦昂的话听完,当即主动开口应声,心里面也顿时松了口气。


    确定光源靶盘很快就能解决,这标志著让大家期待的验证实验,终于能正式开展迈出重要的一步,将实验室已准备好的毫米级演示装置,变成能产生足够功率极紫外光的实用光源。


    作为材料研究院研,光源靶盘项目负责人,张彦昂闻言却丝毫没有居功。


    下秒连忙摆手道:「和徐总师你要做的事相比,我们的工作,就显得很微不足道了,能为国产高端光刻机的研发工作出上力,这是每位科研人员最大的荣誉。」


    「况且如果没有徐总师提供设计方案,所里也没法在短时间内研发出所需的靶盘。」


    他这番话可以说没有任何水分,完全发自肺腑。


    刚接到科学院总部的通知,得知要配合光刻机专项团队研发特殊光源靶盘,整个所里上下可谓严阵以待。


    第一时间抽调了最优秀的科研人员,组成小组来专门负责此项目。


    毕竟大家都知道,这关系到国产高端光刻机研发,是当前国家最重要项目。


    张彦昂被任命为项目负责人后,深知涉及极紫外光源所具有的难度,基本上做好了长期苦战的准备,无论如何都要完成这项任务才行。


    否则就是给材料院丢脸。


    然在顺利和徐铭对接拿到相关资料后,整个人却瞬间呆滞住。


    因为资料中的内容,并非只是对靶盘的需求,还包括了详细的设计方案。


    尤其是在矽基圆盘上覆盖特殊薄膜。


    并且经过团队讨论后,确定此方法的可行性极高。


    于是最终他拍板决定直接按方案进行研发。


    仅仅几次实验,便取得巨大成功,让大家对徐铭这位最年轻的总设计师有了新认知。


    本以为由年轻数学家担任总设计师,负责国产高端光刻机的研发,会影响此专项的进度以及研发周期,光熟悉相关内容可能都要大量时间。


    结果事情的发展和预料的完全不同。


    徐铭不但很快确定了验证实验的整个流程,还在材料领域也有这么高水平。


    整个人仿佛是一个巨大的宝库,随时都能带来惊喜。


    不管外界作何评价,反正他们材料研究院的人,经过这次事件之后,均对徐铭抱有非常大期待。


    坚定认为国产高端光刻机,绝对能在徐铭手中诞生。


    特别是张彦昂,几乎就差在脸上写出,自身对徐铭的敬佩和崇拜。


    两人在交流过程中,主动追问自己的一些不解,确保下次实验能研发出完美靶盘的同时,也使得自身的水平有了一定的提升。


    至于年龄上的差距,则直接抛在脑后。


    毕竟真正的天才可不会讲年龄。


    徐铭自然能感受出,张彦昂语气中的情绪,对此他自然也没有藏拙。


    在交谈过程中,讲述自己对光源靶盘特性的理解。


    光源靶盘本质上,主要是为他提出的等离激元耦合态理论服务,保证雷射能在每一个点上激发耦合态,加上他具备的量子材料经验和相场模型,给出相关的设计方案并非什么困难的事情。


    与此同时。


    这次跟随著一起过来的潘耀,站在旁边望向正同张彦昂交流的徐铭,眼中不断闪过激动的精光。


    毫不掩饰脸上浮现出的崇拜。


    没办法。


    本以为徐总师在短短几天内,完善设想理论和验证实验过程,已超出了单纯理论数学家的范畴,有资格担任总设计师的职位。


    未曾想在半导体材料研发上同样出色。


    光凭对光源靶盘的设计,就能节省大量的研发时间。


    让人不由得愈发对徐铭好奇,究竟其身上还隐藏著多少可以挖掘的东西。


    「徐总师太厉害了,竟然研究过这么多学科,这趟燕京确实没有白来。」


    自顾自在心中低喃一句,已经迫不及待想看到,验证实验的正式展开。


    徐铭没有立刻返回魔都微电子装备总部,而是选择在燕京滞留了几天,除帮助张彦昂团队加快最新光源靶盘的研发制造,中间还返回了燕京大学一趟,顿时引起学生们山呼海啸的反应。


    那动静完全不输国际大明星,线下举办活动的动静。


    主要今年新入学的新生刚结束完军训,有机会能看到自己的偶像岂能错过。


    最终徐铭好不容易脱身后,只得和陈璐在燕园外面约见面享受难得的放松。


    值得一提的是,按照之前双方家长的意见,明年陈璐毕业之后,两人也就该结婚成家,毕竟年龄上也不算小。


    对此徐铭并无意见。


    几天时间过去。


    徐铭终于从材料院,拿到需要的光源靶盘。


    「幸不辱使命,总算按时完成了任务,希望能帮助徐总师在验证中取得成效「」


    材料研究院门口,待把光源靶盘装好封存完,张彦昂主动和徐铭握手表达自己的期望。


    他这两天没少拉著徐铭交流探讨,可以说收获满满。


    而光源靶盘项目,也是他们材料研究院,有史以来从接受到获得成果,使用周期最短的项目,创造出了院里面全新的研发纪录。


    这全部依仗于徐铭。


    把张彦昂的话悉数听进耳中,徐铭松开对方手,嘴角浮现出淡淡笑容沉声感谢。


    「谢谢你们的帮忙,对于最终的实验结果,等数据出来我会第一时间告诉张教授。」


    「我期待著你的好消息。」张彦昂满脸认真。


    说完。


    徐铭便也不再继续耽搁时间,当即同潘耀出发,立刻动身返回微电子装备总部。


    10月6日,周二。


    尽管正值假期的尾巴,但微电子装备研究所内,依旧有著大量人员忙碌。


    特别相比平时的时候,此刻每个人脸上表情,都透露著一股严肃,甚至很难看到有轻松的笑容。


    之所以如此,是因为今天,将进行验证实验。


    国产光刻机专项重点项目,可以说能促成且进展的如此顺利,很大程度上正是依靠徐铭提出的,全新获得稳定高效极紫外光源的方法。


    这为国产高端光刻机的研发,带来了希望。


    如果最终实验验证失败,或者数据不理想,那么对国内所有人来说,无疑是从头浇了盆冷水。


    不但会影响后续的研发工作,更难保证眼下这时候大家聚起来的心气。


    尤其还会让海外方面,更加猖狂有底气。


    可以说在眼下这种局面中,迫切需要一个好消息,来扭转局势振奋人心。


    所以这也就使得今天的实验,绝对不能失败。


    「所有装置已经检查完毕,符合实验的条件,我们随时可以开始。」


    上午九时许。


    总部大楼实验室内,全副武装的贺鹏涛,看向那台搭建了一段时间的毫米级演示装置,待完成相应的工作后立刻对总设计师进行报告。


    虽然他早就入选科学院院士,但这次为了实验验证的顺利进行,果断选择亲自动手参与实验。


    尽可能保证不出差错。


    同样有此操作的丁顺安院士,则正站在徐铭身旁。


    「开始吧。」


    徐铭对于这种重要场面,可以说早就司空见惯,闻言仅点头吐出几个字,脸上的表情始终保持镇定,浑身散发出胸有成竹的自信。


    使得周围人安心不少。


    贺鹏涛接到指令,转过身看向身后的潘耀,让其进行下一步操作。


    「小潘,安装光源靶盘,」


    「是老师。」潘耀掷地有声回答。


    随即在实验系统控制室内几人的注视下,矽基光源靶盘安装到在演示装置上,终于为其拼上了最后一块拼图。


    「好多年没有像现在这么紧张了,希望实验的结果不会辜负大家的期望。」这时丁顺安还是忍不住开口,在深吸了一口气后才算让情绪稳定下来。


    之前微电子装备研发90纳米工艺光刻机时,都未曾像今天这么紧张过。


    不知是海外那份文件给国内带来的压力,还是徐铭这几个月以来,所展现出来的实力太过让人震惊意外。


    只能说在拉高了预期目标之后,越是容易患得患失。


    生怕会出现不好的结果。


    徐铭听到丁顺安院士的话,顺势扭过头,脸上堆著淡淡的笑容接过话补充。


    「放心吧丁院,我们前期已经准备的足够多,相信实验验证绝不会让大家失望。」


    「说的没错,是我心态不稳了。」丁顺安点点头当即笑著附和句。


    尽管他这个身份和年龄,竟还不如徐铭沉得住气,但心里面却没丝毫不适,毕竟以徐铭的水平,很难会去把他当做三十不到的年轻人。


    哪怕年龄确实如此。


    就这样。


    很快伴随著验证实验正式开始,在众人的观察和各种监测仪器设备的记录下,只见从雷射设备中,发射出一束高强度且高重复频率的近红外雷射。


    在照射到高速旋转的光源靶盘上后,雷射在每一个点上瞬间激发耦合态。


    辐射出稳定的极紫外光。


    「各项数据怎么样?」


    贺鹏涛最先反应过来,立刻望向坐在屏幕前的潘耀大声询问具体数据,想知道最终结果究竟如何。


    虽说包括徐铭在内的其他人,没有再开口,但大家的目光无一例外,都集中在了潘耀的身上,因为过度紧张甚至有人都快要屏住呼吸。


    约摸过去了将近两分钟时间,潘耀的声音终于在实验室内响起。


    能够听出其中夹杂著明显的激动情绪。


    「有结果了。」


    「雷射在光源靶盘上,成功激发出等离激元耦合态。」


    「辐射出的光源波长为13.5纳米。」


    「输出光源稳定在50瓦,转化效率突破15%。」


    几乎是潘耀话音落下的瞬间,整个实验室内顿时爆发出雷鸣般的热烈鼓掌声,每个人脸上都肉眼可见的浮现出发自内心的喜悦。


    「成功了。」


    「我们掌握了稳定的极紫外光源,这是国产高端光刻机研发的一大步。」


    「徐总师的设想是正确的。」


    「很难想像首次实验,转化效率就达到了15%,这可比海外主流的极紫外光源技术高效许多。」


    「简直是在做梦。」


    凡是抽调进光刻机专项研究组的成员,都属于两个光机所内的优秀科研人员,对极紫外光源的好处无比清楚。


    但就是这样决定著高端光刻机工艺的光源,在几个月前对国内方面来说,还是可望而不可及的遥远存在,只有海外的阿斯麦公司才能研发极紫外光刻机。


    可此刻在微电子装备总部实验室内,却诞生出了转化效率高达15%的稳定极紫外光。


    毫不夸张的讲,这项成果无论放在哪里,都是地震。


    足以让全世界感到吃惊。


    待众人的情绪逐渐平复下来,贺鹏涛依旧查看著屏幕中反馈的数据,随后恋恋不舍收回目光,才直起身体看向面前的徐铭面色潮红。


    「太让人惊喜了,采用新理论得到的极紫外光,已经远远超过海外主流的轰击锡滴技术。」


    「解决高端光刻机的核心光源系统,接下来我们的国产光刻机研发,肯定会迎来一段飞速发展的阶段。」


    「我提议应该立刻向外界宣布此消息,让海外知道华国有能力研发高端光刻机。」


    对此旁边的丁顺安也没保持沉默,闻言虽不愿意破坏眼下的气氛,但最终嘴唇微动还是跟在后面补充了句。


    「可惜输出的极紫外光,只稳定在50瓦,距离商用所需的250瓦还有差距,不过毕竟是首次进行验证实验,这个结果已经远远超出预计了。


    徐铭对此次验证的成功并不意外,就连丁顺安口中的功率问题也在预料之内。


    主要今天的实验,核心挑战是新理论方法,是否能稳定输出极紫外光,事实证明他的设想是非常成功的,要确定了这件事之后才能解决功率问题。


    于是还没等丁顺安的遗憾情绪停留多久,他当即主动开口回应上一句,并未在这个时候还故意去卖关子。


    「关于光源的功率问题,可以通过将光源靶盘设计成多环结构,让多路雷射同时激发来提升,应该能够满足商用的250瓦功率。」


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